Aimaganbetov, K.P., КазНИТУ им. К.И. Сатпаева, ТОО «Физико-технический институт», г.Алматы, Казахстан, Казахстан
-
Вестник. Серия Физическая (ВКФ) Том 67 № 4 (2018): Вестник. Серия физическая - Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин
Аннотация PDF