Влияние трехминутной обработки водородной плазмой на структуру и свойства тонких пленок SnO2
DOI:
https://doi.org/10.26577/RCPh-2019-i4-9Ключевые слова:
тонкие пленки, диоксид олова SnO2, обработка плазмой, водородная плазма, сопротивление пленок, коэффициент пропусканияАннотация
Тонкие пленки оксида олова получали из пятиводного тетрахлорида олова растворением в 97% этаноле. Концентрация ионов олова в пленкообразующей системе была 0,12 моль/л, 0,16 моль/л, 0,2 моль/л. Пленкообразующую систему SnCl4/EtOH наносили на поверхность стеклянных подложек модифицированным методом окунания. Сушили на воздухе и затем отжигали при 400оС. Было нанесено 4 слоя. Обработка водородной плазмой проводилась при давлении 6,5 Па, мощности 20 Ватт, частоте колебаний создаваемых генератором 27,12 МГц±0,6%. Обнаружено уменьшение прозрачности, в пределах точности измерений, пленок, полученных из пленкообразующей системы с концентрацией ионов олова 0,12 моль/л и 0,2 моль/л. Прозрачность пленок, полученных из пленкообразующей системы с концентрацией ионов олова 0,16 моль/л уменьшилось на 3%. Сопротивление пленок уменьшилось в 1,5 раз. Рентгеноструктурный анализ показал рост интенсивности дифракционных пиков от плоскостей кристаллитов SnO2. Получен важный технический результат: уменьшение сопротивления тонких пленок SnO2 без значительного уменьшения прозрачности, при использовании пленкообразующей системы с концентрацией ионов олова 0,12 моль/л и 0,2 моль/л после обработки в течение 3 минут в водородной плазме.
Библиографические ссылки
2 S. Javanmardi, S. Nasresfahani, M.H. Sheikhi, Materials research bulletin, 118, N110496 (2019).
3 H.K. Li, D.C. Zhu, Yang Z.Y., Lu W.R., Pu Y., Applied surface science 489, 384-391 (2019).
4 S.Y. Lee, S.H. Cho, Y.S. Cho, S.J. Kim, S.H. Kim, Journal of Nanoscience And Nanotechnology 19(7), 4260-4264 (2019).
5 N. Yilmaz, E.B. Aydin and M.K. Sezginturk, Analytica Chimica Acta. 1062, 68-77 (2019).
6 E. Demir, M. Aydin, A.A. Arie and R. Demir-Cakan, Journal of Alloys And Compounds 788, 1093-1102 (2019).
7 B.E. Park, J. Park, S. Lee, S. Lee, W.H. Kim and H. Kim, Applied Surface Science 480, 472-477 (2019).
8 N. Somjaijaroen, R. Sakdanuphab, N. Chanlek, P. Chirawatkul, A. Sakulkalavek, Vacuum 166, 212-217 (2019).
9 E.P. Stuckert, E.R. Fisher, Sensors and Actuators B-chemical 208, 379-388 (2015).
10 H.B. Seo, B.S. Bae, H.I. Bang, E.J. Yun, Journal of nanoscience and nanotechnology 20, 197-205 (2020).
11 T. Gu, E.T. Hu, S. Guo, Y. Wu, J. Wang, Z.Y. Wang, K.H. Yu, W. Wei, Y.X. Zheng and S.Y. Wang, Vacuum 163 69-74 (2019).
12 D.M. Mukhamedshina, A.I. Fedosimova, E.A. Dmitriyeva, I.A. Lebedev, E.A. Grushevskaya, S.A. Ibraimova, K.A. Mit’ and A.S. Serikkanov, Eurasian Chemico-Technological Journal 21(1), 57-61 (2019).
13 T. Gu, E.T. Hu, S. Guo, Y. Wu, J. Wang, Z.Y. Wang, K.H. Yu, W. Wei, Y.X. Zheng, S.Y. Wang, etc., Vacuum 163, 69-74 (2019).
14 Neeraj K. Mishra, Chaitnaya Kumar, Amit Kumar, Manish Kumar, Pratibha Chaudhary and Rajeev Singh, Materials Science-Poland 33(4), 714-718 (2015).
15 A.N. Jarmonov, D.D. Larionov and R.R. Jahihanov, Izvestija Samarskogo nauchnogo centra Rossijskoj akademii nauk 17, N2(4) (2015). (in Russ)
16 E.A. Dmitrieva, D.M. Mukhamedshina, N.B. Beisenkhanov and K.A. Mit', Glass Physics and Chemistry 40(1), 31-36 (2014).
17 E.A. Dmitriyeva, D.M. Mukhamedshina, K.A. Mit', I.A. Lebedev, I.I. Girina, A.I. Fedosimova and E.A. Grushevskaja, News of The National Academy of Sciences of The Republic of Kazakhstan-Series of Geology and Technical Sciences 1, 73-79 (2019).
18 V.I. Kondrashin, Engineering sciences. Electronics, measuring equipment and radio engineering 2(38), 93–101 (2016).
19 D.M. Mukhamedshina, N.B. Beisenkhanov, K.A. Mit', V.A. Botvin, I.V. Valitova and E.A. Dmitrieva, High Temperature Material Processes 10(4), 603-615 (2006).
20 D.M. Mukhamedshina, K.A. Mit', N.B. Beisenkhanov, E.A. Dmitriyeva and I.V. Valitova, Journal of Materials Science-Materials in Electronics 19, 382-387 (2008).
21 D.M. Muhamedshina, N.B. Bejsenhanov, K.A. Mit', E.A. Dmitrieva, N.A. Medetov, Perspektivnye materialy N1, 35-42 (2012). (in Russ.)
22 C. Kiliç and A. Zunger, Physical Review Letters 88(9), 1-4 (2002).
23 Ju.A. Rjabikin and I.A. Lebedev, Sposob uvelichenija otnoshenija signal/shum v spektroskopii, Predvaritel'nyj patent N12779, Kazakhstan: MPK G01N 24/00 – 2001. (in Russ)
24 H.B. Seo, B.S. Bae, H.I. Bang, and E.J. Yun, Journal of nanoscience and nanotechnology 20(1), 197-205 (2020).
25 N.B. Bejsenhanov, Physics of the Solid State 53(2), 390–397 (2011). (in Russ)
26 S. Sagadevan, Z.Z. Chowdhury, M.R. Bin Johan, F.A. Aziz, L.S. Roselin, J. Podder, J.A. Lett and R. Selvin, Journal of nanoscience and nanotechnology 19 (11), 7139-7148 (2019).
