Тұрақты токта Ar және Ar/C2H2 солғын разрядты плазмадағы электрондардың температурасын зерттеу
DOI:
https://doi.org/10.26577/RCPh.2024v90i3-04Кілттік сөздер:
тозаңды плазма, электрондар температурасы, PECVD, нанобөлшектері бар плазма, оптикалық спектроскопияАннотация
Бұл жұмыста тұрақты токтағы солғын разрядының аргон және аргон ацетилен плазмасындағы электрондардың температурасын зерттеу нәтижелері келтірілген. Күрделі плазманың негізгі параметрін анықтау үшін оптика эмиссиялық әдіс қолданылды. Электрондардың температурасының қысымнан, кернеуден және уақыттан тәуелділігі спектірлік сызықтардың интенсивтілігін талдау арқылы анықталды. Эксперимент барысында кернеу көзі 1кВ-тан 1,5кВ-қа дейін жүйелі түрде өзгертіліп отырды, ал қысым көрсеткіші тұрақты түрде 0,1-1 торр арасында сақталды. Уақыттан тәуелділігі бойынша 200 секундқа созылған солғын разрядта әр 20 секунд сайын электрондардың температурасы есептеліп отырды. Алынған нәтижелер көрсетуі бойынша аргон плазмасында қысымның жоғарылауымен электрондардың температурасы 0,4 торр қысым көрсеткішіне деін төмендеп, содан кейін қайта көтерілетінін көрсетті. Электрондардың температурасы бөлшексіз яғни аргон плазмасында кернеу көзі жоғарылауымен қателік шегінде төмендей бастайтыны байқалды. Тозаңды плазмада (PECVD Ar-C2H2) жүргізілген зерттеу нәтижесін саралау барысында электрондардың температурасы қысым мен кернеу көзінен тәуелділігі аргон плазмасында байқалған тенденциялармен өте ұқсас болғаны анықталды. Бастапқы сәтте уақытқа байланысты тәуелділікте тозаңды плазмадағы электрондардың температурасы біртіндеп жоғарылай бастап, кеін уақыт өте келе күрт төмендейтінін нәтижелер көрсетті.
