Получение тонких пленок SIC методом PECVD

M.A. Omarov; O.Yu. Prikhodko; V.V. Klimenov; T. Aitmukan; B.E. Alpysbayeva; I.S. Nevmerzhitsky

Авторлар

M.A. Omarov Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан
O.Yu. Prikhodko НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
V.V. Klimenov Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан
T. Aitmukan Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан
B.E. Alpysbayeva Лаборатория инженерного профиля КазНУ им. аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан
I.S. Nevmerzhitsky Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан

Кілт сөздер:

высокочастотный разряд, газовая смесь, тонкие пленки, карбид кремния, спектроскопия комбинационного рассеяния света, сканирующая электронная микроскопия, структура

Аңдатпа

В работе представлены результаты получения карбида кремния в плазме высокочастотного разряда с приложением магнитного поля. В результате были получены тонкие пленки карбида кремния и кубического карбида кремния, которые отличаются по своей структуре и некоторым полупроводниковым свойствам.