Получение тонких пленок SIC методом PECVD

Авторлар

  • M.A. Omarov Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан
  • O.Yu. Prikhodko НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
  • V.V. Klimenov Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан
  • T. Aitmukan Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан
  • B.E. Alpysbayeva Лаборатория инженерного профиля КазНУ им. аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан
  • I.S. Nevmerzhitsky Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан

Кілт сөздер:

высокочастотный разряд, газовая смесь, тонкие пленки, карбид кремния, спектроскопия комбинационного рассеяния света, сканирующая электронная микроскопия, структура

Аңдатпа

В работе представлены результаты получения карбида кремния в плазме высокочастотного разряда с приложением магнитного поля. В результате были получены тонкие пленки карбида кремния и кубического карбида кремния, которые отличаются по своей структуре и некоторым полупроводниковым свойствам.

Жүктеулер

Жарияланды

2012-09-22

Журналдың саны

Нөмір 2012 № 3 (2012): KazNU Bulletin. Physics series

Бөлім

Condensed Matter Physics and Materials Science Problems. NanoScience

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

Получение тонких пленок SIC методом PECVD. (2012). Хабаршы. Физика сериясы, 2012(3), 37-41. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704

Осы автордың (немесе авторлардың) ең көп оқылатын мақалалары