Aitmukan, T., Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан, Казахстан

• Вестник. Серия Физическая (ВКФ) Том 42 № 3 (2012): Вестник КазНУ. Серия физическая - Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
  Получение тонких пленок SIC методом PECVD
  Аннотация  PDF