Turarbaeva, T.B., ННЛОТ, КазНУ им.аль-Фараби, г.Алматы, Казахстан, Казахстан

• Вестник. Серия Физическая (ВКФ) Том 68 № 1 (2019): Вестник. Серия физическая - Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
  Изучение параметров электронной литографии посредством АСМ
  Аннотация  PDF