А Разработка системы измерения в нанодиапазоне

Авторы

  • N.E. Akhanova Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • S.A. Darznek 3АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», Россия, г. Москва
  • J.E. Zhelkobaev АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», Россия, г. Москва
  • M.T. Gabdullin Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет», Казахстан, г. Алматы
  • Y. Yerlanuly Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет»,Казахстан, г. Алматы
  • D.G. Batryshev Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет», Казахстан, г. Алматы
        198 37

Ключевые слова:

лазер, линейное перемещение, нанодиапазон, интерферометр, угол фазового сдвига (УФС)

Аннотация

Работа посвящена измерению линейных смещений в нанодиапазоне, анализу особенностей такого рода работ, обеспечению единства измерений и стабильности измеряемой физической величины, достоверности результатов и их привязки к Госэталонам. Рассмотрены критерии, которым должны соответствовать методы и средства прецизионных измерений в нанодиапазоне, а также методы и средства съема и представления обработки получаемой информации. Сделан анализ основных источников погрешностей. Результаты этих исследований представлены в работе [1]. Рассмотрены особенности построения измерительных комплексов, а также вопросы калибровки фазовых измерений в оптике.Рассмотрены вопросы прикладного характера: измерение реальных перемещений  объектов в нанодиапазоне, определения их скорости и ускорения, а также  вопросы внедрения разработанных методов в область практического применения.Приведены результаты, полученные при решении экспериментальных и прикладных задач с использованием метода и средств численного гетеродинирования. Разработанная измерительная система  «интерферометр-фазометр», позволяет исследовать, в реальном масштабе времени, сложные пъезокерамические структуры используемых в различных устройствах в качестве  актюаторов.

Библиографические ссылки

1 S.A. Darznek, ZH. Zhelkobayev, V.V. Kalendin, Yu.A. Novikov, Lazernyy interferometricheskiy izmeritel’ anoperemeshcheniy, Trudy IOFAN im. A.M. Prokhorova, RAN, 62, 15-35 (2006). (in Russ).

2 M. Born, E. Vol’f Osnovy optiki (Moskva, Nauka, 1970), 856s. (in Russ).

3 A.I. Kartashev, I.SH. Etsin, UFN, 106 (4), 687–721 (1972). (in Russ).

4 O.P. Galakhova, Ye.D. Koltik, S.A. Kravchenko Osnovy fazometrii (Moskva, Energiya, 1976), 250s. (in Russ).

5 Ye.R. Mustel’, V.N. Parygin Metody modulyatsii i skanirovaniya sveta (Moskva, Nauka, 1970), 295s. (in Russ).

6 U. Mezon Fizicheskaya akustika. Tom VII (Moskva, Mir, 1974), 432s. (in Russ).

7 A. Korpel Akustooptika (Moskva, Mir, 1988), 240s. (in Russ).

8 L.N. Magdich, V.YA. Molchanov Akustoopticheskiye yavleniya i ikh primeneniye (Moskva. Sovetskoye radio, 1978), 112s. (in Russ).

Загрузки

Как цитировать

Akhanova, N., Darznek, S., Zhelkobaev, J., Gabdullin, M., Yerlanuly, Y., & Batryshev, D. (2018). А Разработка системы измерения в нанодиапазоне. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 66(3), 69–74. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/686

Выпуск

Том 66 № 3 (2018): Вестник. Серия физическая

Раздел

Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)

1 2 > >>