Қатты оксидті отын элементтері электролиті үшін YSZ пленкасын тұндырудың физикалық әдістері
DOI:
https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v72.i1.09Аннотация
Қазіргі таңда қатты оксидті отын элементтері электролиті үшін жұқа әрі берік YSZ (иттриймен тұрақтандырылған цирконий оксиді) пленкасын тұндыру мақсатында тиімділігі мен сезімталдығы өте жоғары физикалық әдістер қолданылады. Шолу мақала әр түрлі мақала авторларының өз қолданған реактивті магнетронды және плазмалық бүрку, импульсті лазерлітұндыру сияқты перспективті физикалық әдістердің артықшылықтары мен кемшіліктерін талдауға арналған. Импульсті лазерлі тұндыру әдісінің басты артықшылықтарының бірі – ультражоғары жиілікті камера мен булану энергиясының бөлінуі негізінде тұндыру кезінде фондық газды және қоршаған орта қысымын таңдауға мүмкіндік беруі, алайда микробөлшектер мен нысанадағы бүркілетін заттың субстрат бетіне түсуі YSZ пленкасының беттік морфологиясын өзгертумен қатар пленканың деформацияға ұшырау нәтижесінде құрылымдық ауытқулар тудыруы мүмкін. Сол сияқты шолу мақалада қалған әдістердің де артықшылықтары мен кемшіліктері авторлардың жұмыстарын салыстыра отырып жан-жақты талқыланады. Әсіресе жоғарыда аталған әдістердің ішінен реактивті магнетронды бүрку әдісінің ерекшеліктеріне көп көңіл аударылады және аталған әдістің болашақта қолдануға өте тиімді, сезімталдығы жоғары экспрессивті әдіс екендігі көрсетіледі.
Библиографиялық сілтемелер
2 S.C. Singhal and K. Kendall, High Temperature Solid Oxide Fuel Cells: Fundamentals, Design and Applications, (Elsevier, Oxford, UK, 2003), 406 p.
3 A. Choudhury, H. Chandra, and A. Arora, Renewable and Sustainable Energy Reviews, 20, 430-442 (2013).
4 M.C. Williams, Fuel Cells, 1, 78-85 (2007).
5 W. Winkler, In High temperature solid oxide fuel cells: fundamentals, design and applications. In: Singhal S.C. and Kendall K. (eds), (Oxford, Elsevier, 2003), p.53–82.
6 Y. Du, N. Hedayat, et al, Materialia, 1, 198-210 (2018).
7 Da Silva F.S., and de Souza T. M., Int J Hydrogen Energ, 42(41), 26020 (2017).
8 U.M. Damo, M.L. Ferrari, A. Turan, and A.F. Massardo, Energy, 168(C), 235-246 (2019).
9 Z. Yang, M. Guo, et al, Han Int J of Hydrogen Energy, 42(39), 24959 (2017).
10 L.A. Dunyushkina Vvedeniye v metody polucheniya plenochnykh elektrolitov dlya tverdooksidnykh toplivnykh elementov. Monografiya, (Yekaterinburg: URO RAN, 2015), 126 s. (in Russ).
11 S. Ryu, S. Lee, et al, Surface and Coatings Technology, 369, 265-268 (2019).
12 Y. Li, L.M. Wong, et al, Surface and Coatings Technology, 320, 344–348 (2017).
13 R. Pascu, S. Somacescu, G. Epurescu, et al, Thin Solid Films, 553, 98–103 (2014).
14 H.N. Krogstad, Materials Science and Engineering,72, 1-54 (2012).
15 J. Qian, Z. Tao, et al, Int J of Hydrogen Energy, 38(5), 2407–2412 (2013).
16 T. Mukai, T. Fujita, et al, J of Fuel Cell Science and Technology, 12(3), 031002 (2015).
17 M. Gupta, A. Weber, N. Markocsan, & M. Gindrat, J of the Electrochemical Society, 163(9), F1059-F1065 (2016).
18 S.L. Zhang, H.X. Yu, et al, J of Materials Chemistry A, 4(19), 7461–7468 (2016).
19 Y.C. Yang, T.H. Chang, et al, Int J of Hydrogen Energy, 37(18), 13746–13754 (2012).
20 D. Waldbillig and O. Kesler, Surface and Coatings Technology, 205(23-24), 5483-5492 (2011).
21 P. Coddet, M.L. Amany, et al, Surface and Coatings Technology, 357, 103-113 (2018).
22 D. Depla, A. Besnard, and J. Lamas, Vacuum, 125, 118-122 (2016).
23 A.A. Solovyev, S.V. Rabotkin, et al, J of Physics: Conference Series, 552, 012010 (2014).
24 H. Wang, W. Ji, et al, Solid State Ionics, 192(1), 413-418 (2011).
25 H. Hidalgo, A.L. Thomann, et al, Fuel Cells, 13(2) 279–288 (2012).
