Көп қабатты жабындардың механикалық және трибологиялық сипаттамаларының өзгеру ерекшеліктері (TiZrNbYAl)N

Аннотация

Жұмыста көп қабатты (TiZrNbYAl)N қаптамалардың адгезиялық және трибологиялық сипаттамалары зерттелді. Бұл жұмыстың негізгі мақсаты 12Х18Н9Т болаттан жасалған төсенішке шөгілген (TiZrNbYAl)N қаптаманың адгезиялық және трибологиялық сипаттамаларына тигізетін қабаттар санының әсерін бағалау болып табылады.

Оже-электронды спектроскопия әдісімен элементтердің қаптама тереңдігі бойынша таралуын зерттеу химиялық элементтердің қаптама қимасы бойынша біркелкі бөлінетінін және элементтердің таралу қисықтарының үшкір төбесі бар екенін көрсетті. Қаптамалар тарапынан 2 мкм-ден астам тереңдікте қаптамалар құрамында темірдің болуы электрлік ығысуының ұлғаюы қаптаманың жабысу беріктігін сынау нәтижелерімен расталатын болат төсемнің сенімді адгезиясын қамтамасыз ететіндігін көрсетеді. Әрбір жеке қабаттың қолдану уақытының ұлғаюы Uпп=-100 В және Р = 4×10^-3 Torr болғанда элементтердің қаптамаларының қалыңдығы бойынша біркелкі таралмауына және салыстырмалы түрде кең өтпелі қаптама-төсеніш қабатының пайда болуына әкеледі.

Қаптамалардың адгезиялық беріктігін сынау көрсеткендей, олардың барлығы сызылған кезде желінеді, бірақ қабыршақтанбайды, яғни қаптама материалында пластикалық деформация және қажу жарықтарының пайда болуына байланысты когезиялық механизм арқылы бұзылады. Әр түрлі қамту режимдері жүктемеге байланысты акустикалық эмиссияның (АЭ) әр түрлі мәндеріне сәйкес келеді. GP = -100 В; Р = 4×10^-3 Torr кезінде алынған қаптамалар сынақтың максималды жүктемесі кезінде жоғары адгезия беріктігін және сызаттар аймағында белгілі бір дәрежеде қабыршақтанғаны анықталды.

Трибологиялық зерттеулердің нәтижелері (TiZrNbYAl)N қаптамалардың орташа мәні μ = 0,85-0,95 болатын үйкеліс коэффициенті жоғары екенін көрсетті. Мұндай мәндерді қаптамалардың когезиялық бұзылуына байланысты тозу іздерінің жоғары кедір-бұдырлығымен түсіндіруге болады.