Принципы разработки вакуумных систем для плазменных приложений

A. Zhukeshov; A. Gabdullina; S. Pak; A. Amrenova; A. Kaibar; S. Кulzhanova; K. Kurmanbaev

Авторы

A. Zhukeshov НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
A. Gabdullina НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
S. Pak НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
A. Amrenova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
A. Kaibar НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
S. Кulzhanova НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы
K. Kurmanbaev НИИЭТФ, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, Алматы

94 93

Ключевые слова:

плазменные технологии, метод вакуумного напыления, вакуумная установка

Аннотация

В статье рассмотрены принципы разработки вакуумных систем для применения в плазменных технологических процессах. Показаны преимущества импульсной плазменной обработки и методов вакуумного плазменного напыления. Рассматриваются основные приемы автоматизации и коммутации вакуума

Библиографические ссылки

1 A. Zhukeshov, Journal of Physics. Conference series, 63, 012014 (2007).

2 A.I. Morozov Vvedeniye v plazmodinamiku, (Moscow, Fizmatlit, 2006), 560 s. (in Russ)

3 B.M. Ibraev, Journal of Engeneering Thermophysics, 12, 183-190 (2003).