ФОРМИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ СЛОЁВ ДЛЯ КРЕМНИЕВЫХ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ. КРЕМНИЙ ФОТОТҮРЛЕНГІШТЕРГЕ АРНАЛҒАН НАНОҚҰРЫЛЫМДЫ ЖАРҚЫНДАНДАЛҒАН ҚАБАТТАРДЫ ҚАЛЫПТАСТЫРУ ЖƏНЕ ОЛАРДЫҢ ОПТИКАЛЫҚ ҚАСИЕТТЕРІН ЗЕРТТЕУ

Аннотация

Методом электрохимического анодирования на поверхности кремниевых полированных пластин с поверхностным сильнолегированным n+ слоем сформированы слои нанопористого кремния. Слои формировались при постоянном токе в процессе анодизации, и при токе, изменяющемся по определённому закону во времени. Электрохимическое анодирование проводилось как в стандартной ячейке, так и капиллярным методом. Исследована зависимость спектрального коэффициента отражения от режимов (плотности тока, времени травления, закона изменения плотности тока от времени) формирования слоя. Беттік күшті қоспаланған n+ қабаты бар кремний əрленген пластиналардың бетінде электрохимиялық əдісімен кремнийдің наноқұрылымды қабаттар қалыптастырылған. Қабаттар анодизация процесі кезінде тұрақты ток болғанда жəне ток белгілі заңы бойынша өзгергенде қалыптастырылған. Электрохимиялық анодизациясы стандартты ұяшықта жəне капиллярлық əдісімен өткізілген. Шағылудың спектрлік коэффициентінің қабатының қалыптастыру режимдерінен зерттелген (ток тығыздығы, уландыру уақыты, токтың тығыздығы уақыт бойынша өзгеруі).