Разработка кремниевых стриповых детекторов с ортогональным полем
Ключевые слова:
p-i-n структура, детектор, Si(Li) стрип детекторАннотация
Разработка полупроводниковых полосковых детекторов с ортогональным полем с высокой энергией и положением, линейность сигнала в широком диапазоне энергий для различных типов частиц тесно связана с технологией изготовления модулей обнаружения и полупроводниковых свойств исходного кристалла. В работе рассматриваются физико-технологические особенности изготовления Si(Li) стриповых детекторов с ортогональном полем с большой чувствительной областью. Электрофизические и радиометрические параметры изготовленной детекторов при рабочем напряжении U=(50-600)В находятся в пределах значения темнового тока I ~ (0,1÷0,5) мкА, емкость С = (20÷200)пФ, шумы E = (12÷35) кэВ. Энергетические разрешения Rβ = 18кэВ по ЭВК 207Bi (Eβ = 1МэВ) и Rα = 46 кэВ по 238Pu (Eα ≈ 5,5MэВ), соответственно. Исследовано влияние неоднородностей на характеристики стриповых детекторов, а также их роль в явлениях переноса носителей заряда в условиях ортогонального поля.
