Omarov, M.A., Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан, Казахстан
-
Вестник. Серия Физическая (ВКФ) Том 42 № 3 (2012): Вестник КазНУ. Серия физическая - Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
Получение тонких пленок SIC методом PECVD
Аннотация PDF