Zaitsev, S.I., Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов (ИПТМ) РАН, Черноголовка, Россия, Российская Федерация

• Вестник. Серия Физическая (ВКФ) Том 68 № 1 (2019): Вестник. Серия физическая - Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука
  Изучение параметров электронной литографии посредством АСМ
  Аннотация  PDF