Zaitsev, S.I., Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов (ИПТМ) РАН, Черноголовка, Россия, Russian Federation
-
Recent Contributions to Physics (Rec.Contr.Phys.) Vol. 68 No. 1 (2019): Recent Contributions to Physics - Condensed Matter Physics and Materials Science Problems. NanoScience
Study of the electron lithography parameters by AFM
Abstract PDF