Влияние технологических параметров получения углеродных пленочных наноструктур

Авторы

  • I.A. Tsyganov Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • N.R. Guseinov Национальная нанолаборатория открытого типа, КазНУ им.аль-Фараби, Алматы, Казахстан
  • A.S. Kozhantaeva Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • N.N. Uzakbaeva Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • A.N. Shadiyarbekova Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • A.A. Erbolaev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • A.S. Isaev Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
  • M.M. Zhumagulov Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
        91 43

Ключевые слова:

углеродные пленочные наноструктуры, наноалмазы, магнетронное распыление, рамановская спектроскопия, сканирующая электронная микроскопия

Аннотация

Рассмотрено влияние технологических параметров пленочных углеродных наноструктур, полученных на металлических и полупроводниковых подложках методом магнетронного ионноплазменного распыления. Приведены результаты по влиянию смеси газов Ar+H2 и Ar+CH4 на структуру пленок, которые были исследованы с использованием сканирующей электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния. По данным спектров КР, представленным в статье, описаны особенности структур, полученных образцов, которые сильно отличаются в зависимости от использованной смеси газов. Из результатов микрофотографий СЭМ оценено распределение и средние размеры обнаруженных наноразмерных углеродных фрагментов. Проанализированные данные отражают свойства углеродных пленочных наноструктур в зависимости от технологических параметров и условий подготовки мишеней. Выявлены температурные закономерности и зависимость используемой смеси рабочего газа.

Библиографические ссылки

1. Ch.Pul, F. Ouens, Nanotekhnologii (Moscow: Tekhnosfera, 2007), 376 p. (in Russ).

2. I.P. Suzdalev Nanotekhnologiya. Fiziko-khimiya nanoklasterov, nanostruktur i nanomaterialov (Moscow: Librokom, 2009), 592 p. (in Russ).

3. S. Srinivasan and R. Saraswathi, Current Sci., 97 (3), 302–303, (2009).

4. D.C. Green, D.R. Mckenzie, and P.B. Lukins, Material science forum, 52-53, 103-124, (1989).

5. J. Robertson, Material science forum, 52-53, 125-150, (1989).

6. L.A. Pesin and E.M. Baitinger, Carbon, 40, 295-306, (2002).

7. Sh.M. Mominzzaman, K.M.Krishna, T. Soga, T. Jimbo, and M. Umeno, Carbon, 38, 127-131, (2000).

8. M. Yoshikao, Material Science forum, 52-53, 365-386, (1989).

9. D. Chen., A. Wei., S.P. Wong, S. Peng., J.B. Xu, I.H. Wilson, J. Non-Cryst. Solids, 254, 161-166, (1999).

10. E. Mounier, F. Bertin, M. Adamic, Y. Pauleau, P.B. Barna, Diamond and related materials, 5, 1509-1514, (1996).

11. Juh-Tzeng lue., Sheng-Yuan Chen., Chi-ling Chen., Mei-Chung Lin, J. Non-Cryst. Solids, 265, 230-237, (2000).

12. M. Hakovitra, R. Verda, X.M. He, and M. Nastasi, Diamond and related materials, 10, 1486-1490, (2001).

13. J.J. Hanak, H.W. Lehmann, R.K. Weher, J. Appl. Phys., 43 (4), 1666-1673, (1972).

14. A.C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B, 61 (20), 14095-14107, (2000).

15. A.C. Ferrari, B. Kleinsorge, G. Adamopoulos, J. Robertson, W.I. Milne, V. Stolojan, L.M. Brown, A .Libassi, and B.K. Tanner, J. Non-Cryst. Solids, 266-269, 765-768, (2000).

16. C. Casiraghi, A.C. Ferrari, J. Robertson, Physical Review B, 72, 085401, (2005).

17. N. Savvides, Material science forum, 52-53, 412, (1989).

18. I.A. Tsyganov, N.R. Guseynov, and A.M. Il'in, Izvestiya VUZov., Ser. Fizika, 1/3, 307-310, 2011.

19. Y. Rubin, M. Kahr, C.B. Knobler, F. Diederich, and Ch.L. Wilkins, J. Amer. Chem. Soc., 113, 495, (1991).

20. D. Ugarte, Nature, 359, 707–709, (1992). DOI:10.1038/359707a0

21. D. Ugarte, Chem. Phys. Lett., 198, 596-602, (1992).

22. D. Ugarte, Intern J. Mod. Phys. B, 23/24, 3815-3819, (1992). doi.org/10.1142/S0217979292001870

23. T.W. Ebbesen Carbon nanotubes: preparation and properties. (Boca raton (FL.): CRC Press. 1996), pp.1995-1998.

24. Carbon nanotubes / Ed. By M. Endo et al. (N.Y.: Elsevier), 696 p.

25. R. Saito, G. Dresselhaus, and M.S.Dresselhaus, Physical properties of carbon nanotubes. (L.: Imperial College press. 1998), 815 р.

26. P.J.F. Harris, Carbon nanotubes and related structures: New materials for the 21st century. (N.Y.: Cambridge Univ. Press. 1999), pp. 896-898.

Загрузки

Как цитировать

Tsyganov, I., Guseinov, N., Kozhantaeva, A., Uzakbaeva, N., Shadiyarbekova, A., Erbolaev, A., Isaev, A., & Zhumagulov, M. (2018). Влияние технологических параметров получения углеродных пленочных наноструктур. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 64(1), 25–31. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/609

Выпуск

Том 64 № 1 (2018): Вестник. Серия физическая

Раздел

Физика конденсированного состояния и проблемы материаловедения. Нанонаука

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)